氧化物晶体管存内计算芯片工艺

授课教授：胡倩澜

知存科技工艺研发技术总监

课程简介

深入探讨超薄ITO薄膜、氧化物半导体（如IGZO）等新材料在存内计算芯片中的应用，分析其超低漏电、高迁移率特性对三维集成与柔性电子器件的赋能潜力，覆盖工艺制程创新与原型芯片案例。